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潔凈室

四方光電基于10年光散射技術的研究與創(chuàng)新，提供潔凈室在線監(jiān)測解決方案，推出了激光型粒子計數(shù)傳感器PM5000S與PM3003NS，以及在線粒子計數(shù)器OPC-6500F和OPC-6303P，可廣泛應用于醫(yī)藥行業(yè)、電子行業(yè)、食品衛(wèi)生行業(yè)、光電工程及航空航天等。

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四方光電塵埃粒子計數(shù)器精準監(jiān)測微粒污染，助力顯示面板制程良率提升

受益于下游電視、電腦、手機等消費類電子產品以及商顯、車載、醫(yī)療等專顯產品需求的推動，近年來中國顯示面板市場規(guī)模整體呈增長態(tài)勢，由2016年的2984億元增長至2023的5694億元，但整體增速逐步趨緩，市場競爭進一步加劇。中大尺寸市場仍由LCD技術主導，但競爭格局較為固定，需要進一步提升產品良率，降本增效，以提升產品利潤和競爭力。OLED技術逐漸成熟，占領小尺寸市場，但與LCD相比在工藝成熟度和產品良率上仍有較大的提升空間。綜上，在LCD和OLED面板的制造中，產品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問題。

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四方光電塵埃粒子計數(shù)器在半導體潔凈生產中的應用

隨著電子信息產業(yè)的迅速發(fā)展，中國半導體行業(yè)市場規(guī)模也從2017年的1315億美元增長至2022年的1820億美元。基于半導體產業(yè)國產化進程不斷加快，下游晶圓廠也在不斷擴張，中國芯片制造商預計2024 年將新開18座晶圓廠，產能將從760萬片推升至860 萬片。在半導體國產化趨勢下，國內晶圓廠的擴張也有望帶動半導體配套設備的國產替代需求，將隨著晶圓工廠的擴產持續(xù)增加。

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四方光電在線塵埃粒子計數(shù)器，潔凈室環(huán)境監(jiān)測的“火眼金睛”

隨著新能源鋰電池、半導體、生物制藥、液晶面板等領域的快速發(fā)展，對生產環(huán)境的潔凈度提出了更高的要求，有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關重要。按照國家相關規(guī)定，潔凈室在設計、建造以及交付運行以后，都需要對其性能和合理性進行綜合評價分析。那么，企業(yè)為了滿足生產條件搭建符合標準要求的潔凈室環(huán)境，該如何實現(xiàn)對塵埃粒子的監(jiān)測呢？

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四方光電在線粒子計數(shù)器在潔凈室的創(chuàng)新應用

四方光電在線粒子計數(shù)器在潔凈室的創(chuàng)新應用在醫(yī)藥、電子、食品、航空航天、生物工程、精密加工等領域，相關生產作業(yè)過程中環(huán)境空氣需要滿足較高潔凈度的要求，并符合相關行業(yè)標準，例如制藥行業(yè)需要符合GMP標準?？蛻粢话悴捎昧Ｗ佑嫈?shù)器來針對作業(yè)環(huán)境進行檢測，在國內相關檢測設備需要符合國家計量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器校準規(guī)范》規(guī)程的技術要求。

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檢測原理	光散射原理
檢測粒徑范圍	0.3~10μm
計數(shù)效率	50%@0.3μm 100%@≥0.5μm (以TSI9306作為參考，25±2℃，50±10%RH環(huán)境條件）
上電穩(wěn)定時間	≤8s
數(shù)據(jù)刷新頻率	1s
工作條件	0℃~45℃:0~95%RH（非凝結)
存儲條件	-20~60℃，0~95%RH(非凝結)
工作電壓	DC 12V
平均工作電流	≤1A
通訊接口	RS485接口（標配) RJ45(選配) 4-20mA(選配)
采樣流量	2.83L/min（萬級潔凈度需求配置） 28.3L/min（千級潔凈度需求配置）

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